作者：余娟; 王晓云; 马蕊; 尚洁萤; 尹红梅bi4ti3o12铁电薄膜微观结构拉曼分析
摘要：采用溶胶-凝胶工艺,在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上以不同浓度的溶胶制备出Bi层状钙钛矿Bi4Ti3O12薄膜,用APEX型多功能力学测试系统的3D显微镜模块和拉曼光谱仪对其进行表征.结果表明:在一定范围内,不同浓度的溶胶制备出的薄膜厚度与溶胶的浓度成正比;表面粗糙程度随着薄膜浓度的增大而减小;随着浓度的增加,620~670cm-1处的拉曼峰宽逐渐缩小,变得尖锐.
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