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一种大容性负载的压电陶瓷驱动电源设计

作者:钱存; 张文涛; 杜浩; 熊显名压电陶瓷pa92驱动电源精密定位超前补偿大容性负载

摘要:压电陶瓷作为微定位系统的动能器件,可达到纳米级的位移精度。针对位移驱动型压电陶瓷的大容性负载特点,基于PA92设计了一种高精度、大电流的动态驱动电源。通过电容超前反馈、隔离电阻结合反馈及相位补偿等方式提高了电源的稳定性。分析结果表明,该电源能有效应用于纳米级定位系统中,在大容性负载时具有良好的动态性能,输出电压精度可达0.5 mV。

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压电与声光

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