作者：贾之杰; 王艳; 张淑仪; 徐静; 谢英才; 水...有限元仿真相速度机电耦合系数
摘要：利用射频(RF)磁控溅射法沉积(002)ZnO薄膜和SiO 2薄膜于Si基底,研制(002)ZnO/IDT/SiO 2/Si结构的声表面波延迟线,并通过3D有限元法仿真分析该结构所激发的瑞利波的声学特性,如相速度、机电耦合系数k 2等。通过实验验证,发现二者吻合较好。分析了ZnO薄膜的厚度对瑞利波特性的影响发现,当ZnO厚为8μm时,k 2取得最大值(为3.88%)。同时,分析了(110)ZnO/IDT/SiO 2/Si结构所激发瑞利波的声学特性,结果显示,当ZnO薄膜的厚为8μm时,k 2取得最大值(为5.5%)。
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