作者：彭兴文; 徐阳; 杜波; 张永川; 司美菊; 刘...薄膜体声波谐振器调频频率分散性离子束
摘要：薄膜体声波器件具有体积小及性能高等优势,相关产品已被广泛应用于移动通信市场。薄膜体声波谐振器(FBAR)电极层和压电层等声学层的厚度、材料是影响谐振频率的主要因素。该文分析了FBAR调频的必要性、原理及扫描刻蚀的工作方式,研究了调频层薄膜在不同刻蚀功率时对器件频率的影响。通过对FBAR器件进行调频,频率均匀性提高了6.5倍,频率分散性得到显著改善。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
