作者：彭胜春 阳皓 周哲 杨莉晶体滤波器高可靠性基频小延时离子刻蚀
摘要：研究了一种高可靠性,高基频及小延时晶体滤波器的设计方法。采用减少晶体元件和在滤波器的幅频曲线上引入衰耗峰的方法,同时实现了滤波器的小延时和小矩形系数等指标。为了保证滤波器的高可靠性,采用离子刻蚀工艺加工了高基频晶体谐振器,并对磁芯采用充磁处理,实现了滤波器的全密封结构。该滤波器的工作频率为70 MHz,3dB带宽为151.4kHz,带内波动小于0.5dB,通带内（69.95--70.05 MHz）的群延时波动小于3μs,矩形系数小于2.8。
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