作者：林宇; 段成丽; 朴林华; 张福学两维气体摆倾角传感器
摘要：介绍了气体摆式两维倾角传感器的敏感原理即气体摆倾角敏感原理，并对两维倾角传感器的敏感元件结构设计方案进行了分析。分析了气体摆式两维倾角传感器的基本原理，在此基础上，研究了克服影响传感器性能的环境因素的方法，给出了一个详细和优化的解决方案。最后通过对实际制作的两维倾角传感器进行的测试表明，该文介绍的气体摆式两维倾角传感器的非线性度可小于0．2％，分辨率小于0．03°，工作温度得到扩展。
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