作者：张蓬鹤; 李求洋; 张卫欣; 刘崇伟电流传感器电流测量隧道磁阻磁隧道结聚磁结构
摘要：隧道磁阻(TMR)器件具有灵敏度高、温度漂移小、线性误差小、动态范围宽的优良特性,采用隧道磁阻器件替代传统的霍尔器件、各向异性磁阻(AMR)器件和巨磁阻(GMR)器件可以显著地改善电流测量能力。以提高测量精度、系统小型化为目的,通过综合调整TMR元件尺寸以及聚磁结构位置,设计一种新型Z轴TMR电流传感器,实现采用隧道磁阻(TMR)器件的电流测量。根据初始测量数据进行温度补偿和线性补偿,该电流传感器在0.1~60 A范围内达到了1%的测量精度,在电流测量领域内具有较好的应用前景。
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