作者：王生怀; 吴小桐; 徐风华; 陈育荣; 谢铁邦纳米探针白光干涉激光干涉可溯源定位观察
摘要：为实现微纳米结构的定量测量和定位观察需要,设计了一种基于显微干涉的纳米探针测量系统。该系统基于干涉显微镜基体,同时融合采用白光干涉法和激光干涉法来对纳米探针的纵向位移进行测量。所构成的探针系统能与光波直接溯源,能直接观察被测区域,测量精度高。实验结果表明所设计的测量系统满足定量测量和定位观察需要。
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《仪表技术与传感器》（月刊）创刊于1964年，由沈阳仪表科学研究院有限公司主管，沈阳仪表科学研究院有限公司主办，CN刊号为：21-1154/TH，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《仪表技术与传感器》主要报导仪器仪表、敏感元件及传感器、电子元器件、检测设备、自动化控制系统以及相关的工艺技术、应用技术等，是中国仪器仪表行业最具影响力的期刊之一。
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