作者：揣荣岩; 关若飞; 张晓民压力传感器牺牲层技术线性过载能力应变非线性接触分析
摘要：微机电系统（MEMS）表面微加工技术与IC工艺相兼容,利用该技术可以实现对压力传感器敏感结构尺寸的精确控制,并可用于提高传感器的过载能力。基于有限元仿真,通过应力分布的线性静力分析和非线性接触分析,确定压力传感器感压膜尺寸与过载能力之间的关系,给出了一种提高压力传感器过载能力的方法。在不增加工艺步骤和生产成本的前提下,优化了敏感结构的尺寸,使压力传感器的过载能力得到显著提高。
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