作者:张艳华; 陈玉玲; 史岩峰; 姜志国高可靠性压力传感器结构设计温度补偿可靠性强化试验
摘要:基于MEMS技术的压阻式压力传感器在工业领域应用广泛,传感器的可靠性设计是传感器技术的研究热点,针对汽车电子、石油化工等领域对高可靠性压力传感器的需求,提出了高可靠性压力传感器的设计方法。最后,通过可靠性强化试验对设计的传感器进行可靠性评价,试验结果表明该传感器具有极高的可靠性。
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《仪表技术与传感器》(月刊)创刊于1964年,由沈阳仪表科学研究院有限公司主管,沈阳仪表科学研究院有限公司主办,CN刊号为:21-1154/TH,自创刊以来,颇受业界和广大读者的关注和好评。 《仪表技术与传感器》主要报导仪器仪表、敏感元件及传感器、电子元器件、检测设备、自动化控制系统以及相关的工艺技术、应用技术等,是中国仪器仪表行业最具影响力的期刊之一。
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