作者：邵洪峰; 陈嬴; 宋镜明; 徐晓良efpi强度解调解调系统动态大范围高速
摘要：基于三波长正交的特性和强度解调的原理,设计搭建了一种针对EFPI（非本征型法布里-珀罗干涉型传感器）的解调系统。利用相位实时补偿的方式,该解调系统克服了传统强度解调中腔长解调范围受限的缺点,同时兼具解调速度快的优点。在瞬间释压实验中,结果表明该解调系统实现了腔长变化范围大于1μm的解调,且解调腔长精度达到0.01μm。在高频正弦电压驱动实验中,该系统可成功分辨频率为5 k Hz的信号,且解调精度为0.01μm。
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