作者：李翔; 陈德勇; 王军波扭转模态液相能量补偿品质因数
摘要：提出了一种工作在扭转模态的微机械谐振器,与传统的弯曲模态相比,扭转模态能量损耗低,更适用于液相检测。通过ANSYS仿真优化了结构,针对液相中阻尼较大的特点设计可输出大电流的驱动电路,并根据扭摆的输出与速度相关的特点设计了能量补偿电路,此电路可对能量损失进行有效的补偿,扭摆在液相中的品质因数由2.65提高到了40。
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《仪表技术与传感器》（月刊）创刊于1964年，由沈阳仪表科学研究院有限公司主管，沈阳仪表科学研究院有限公司主办，CN刊号为：21-1154/TH，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《仪表技术与传感器》主要报导仪器仪表、敏感元件及传感器、电子元器件、检测设备、自动化控制系统以及相关的工艺技术、应用技术等，是中国仪器仪表行业最具影响力的期刊之一。
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