作者：郭然; 陈德勇; 王军波谐振式微流量传感器电磁激励低应力富硅氮化硅sin有限元耦合场仿真微机电系统
摘要：提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板（2000tzmX5000txm）以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作，可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器，从而简化工艺流程，提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真（FEA）、工艺制造和测试结果。测试结果显示，传感器在1SLM（标准L／min）流量下，频率漂移为500Hz，分辨率达到5／1000。但在输出（谐振器频率漂移）和输入（气体流量）间存在二次曲线关系。
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