作者：师树恒; 王斌; 朱健强电容位移传感器激励电路
摘要：研制了一种高精度电容式位移传感器，详细介绍了该传感器的基本工作原理和提高传感器精度的关键技术，对电容传感器的具体电路进行模块化设计；分析影响传感器精度与稳定性的因素，采用完全等电位屏蔽技术，对正弦激励电路、参考电容、传感器测头、电源进行技术改进，最后对电容传感器进行系统标定。实验证明：该传感器测量范围为±5-±40μm，测量分辨率〈10nm，测量精度〈20nm．
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《仪表技术与传感器》（月刊）创刊于1964年，由沈阳仪表科学研究院有限公司主管，沈阳仪表科学研究院有限公司主办，CN刊号为：21-1154/TH，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《仪表技术与传感器》主要报导仪器仪表、敏感元件及传感器、电子元器件、检测设备、自动化控制系统以及相关的工艺技术、应用技术等，是中国仪器仪表行业最具影响力的期刊之一。
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