作者：贾颖; 孙宝元; 曾其勇; 徐静薄膜热电偶磁控溅射化爆材料切削温度
摘要：介绍了NiCr／NiSi薄膜热电偶制作方法与过程。与多孤离子镀法相比，采用磁控溅射法镀制的热电偶薄膜成分与靶材接近，膜层致密均匀、平整光滑，临界厚度薄。对研制的NiCr／NiSi薄膜热电偶进行了静态标定与动态标定，薄膜热电偶的灵敏度为40．1μV／℃，线性误差不大于0．75％，时间常数小于0．35ms．最后将薄膜热电偶温度传感器用于化爆材料模拟切削试验。
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《仪表技术与传感器》（月刊）创刊于1964年，由沈阳仪表科学研究院有限公司主管，沈阳仪表科学研究院有限公司主办，CN刊号为：21-1154/TH，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《仪表技术与传感器》主要报导仪器仪表、敏感元件及传感器、电子元器件、检测设备、自动化控制系统以及相关的工艺技术、应用技术等，是中国仪器仪表行业最具影响力的期刊之一。
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