作者：徐静; 孙宝元; 曾其勇; 贾颖薄膜热电偶溅射离子镀标定
摘要：研制了一种集成在刀头内的新型薄膜式热电偶.在切削的同时,能快速直接地测量切削温度.镀膜工艺采用了先进的磁控溅射和离子镀技术,成功地解决了绝缘、镀膜牢固性等问题.该热电偶测温接点位于刀尖,响应迅速,时间常数约为0.8 ms;并且在0～600℃的测温范围内具有良好的线性和热稳定性.详细论述了传感器的结构设计、薄膜热电偶的制作、静态标定、动态标定以及检测电路.当应用于现场切削试验时,传感器能快速响应瞬态切削温度.
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