作者：程保罗; 李昕欣; 王跃林; 焦继伟; 车录锋...微机电系统体硅工艺侧壁扩散绝缘工艺加速度传感器
摘要：介绍了一种全新的体硅微机械工艺,可以取代SOI硅片而直接在普通硅片上对不同的侧壁电学导通部分进行绝缘.该工艺在DRIE形成的绝缘深沟内进行SiO2绝缘薄膜填充,并用填充后形成的SiO2条对器件侧壁进行电学绝缘.对于该工艺的原理、可能出现的问题、制作流程的摸索等进行了探讨,并且给出使用该工艺实现的一个带自检驱动功能的加速度计.该加速度计采用压阻原理,器件的压阻敏感电阻部分,通过在侧面进行半导体杂质扩散而形成.
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
