作者：刘春海; 蒲国; 张伟; 颜成杰; 崔学军; 陈...磁控共溅射高熵合金涂层微结构纳米硬度
摘要：采用多靶磁控共溅射技术的单靶功率可调特点,在304不锈钢基体上,制备出了FeCrNiMoCu高熵合金涂层。通过纳米压入（Nanoindentation）、X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）等对不同组分含量的FeCrNiMoCu高熵合金涂层的纳米硬度、微观结构及形貌进行了表征。结果表明：磁控共溅射法制备的FeCrNiMoCu涂层具有简单的fcc结构和高的纳米硬度,表面硬度随铁元素含量上升而增加。
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