作者：孟建平; 杜淼; 刘晓鹏; 付志强; 郝雷aloxny薄膜氮氧比离子束辅助沉积折射率消光系数
摘要：以单晶硅（111）和载玻片为基体,采用离子束辅助沉积技术沉积AlOxNy薄膜,使用XPS、XRD和椭偏仪研究了氮氧比对AlOxNy薄膜的成分、相结构和光学常数的影响。结果表明,随着氮氧比减小,薄膜中氮含量减小,氧含量增加;薄膜由非晶态转变为结晶态,结晶相为AlOxNy。沉积薄膜的消光系数为零,呈现电介质特性。随着氮氧比减小,沉积薄膜的折射率减小。随着氮氧比的减小,薄膜中的Al-O键增多是导致AlOxNy薄膜折射率减小的主要原因。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
