作者：王舒舒 吴湘君 光寒冰 周淑 张文艳 章非...磁控溅射氮分压钛瓷结合强度
摘要：探讨不同氮分压下磁控溅射氮化锆（ZrN）涂层对纯钛与低熔瓷粉（Vita钛瓷粉系统）结合强度的影响。60个纯钛基片随机分为1个对照组和3个实验组。实验组分别在不同氮分压下（Ta组1.0×10-2Pa,Tb组5.0×10-2Pa和Tc组10.0×10-2Pa）溅射沉积ZrN涂层。纯钛试样经表面处理后在烤瓷炉中进行烧结。用XRD检测到ZrN立方新相。万能试验机测试钛瓷试样三点抗弯强度,对照组为（26.67±0.88）MPa,实验组分别为：Ta（49.41±0.55）MPa,Tb（54.55±0.69）MPa和Tc（46.24±0.53）MPa,四组间差别均有统计学意义（P〈0.05）。SEM观察表明,实验组钛/瓷结合良好,钛基底残留的瓷断面数量较多,面积较大。不同氮分压下溅射沉积的ZrN涂层对钛/瓷结合的增强程度有所不同,5.0×10-2Pa下钛/瓷结合增强最为明显。
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