作者：姚琴; 王春芬; 刘付胜聪; 陈立东电化学沉积sb2te3热电薄膜非水溶液
摘要：采用电化学沉积法，从非水溶液DMSO中制备了Sb2Te3热电薄膜。并采用循环伏安、SEM、XRD、EPMA等技术分别对电化学沉积过程和产物的形貌、结构、组成进行了研究。结果表明，在非水溶液二甲亚砜（DMSO）中，当电解液中Sb原子和Te原子的摩尔比为2：3，沉积电位为-2．2V时，在室温下即可得到单相的Sb2Te3热电薄膜，元素的组成接近化学计量比，组成薄膜的为大小均匀的球状颗粒，直径约为2～3岬左右。沉积电位对薄膜的组成影响明显，通过改变沉积电位，可以分别得到Te微过量的薄膜和近化学计量比的薄膜。
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