作者：万之坚; 李海峰; 黄勇; 张厚兴; 张立明; ...太阳电池多晶硅薄膜快速热化学气相沉积
摘要：选用Al2O3陶瓷作为衬底,采用快速热化学法沉积多晶硅薄膜.实验研究了温度对薄膜生长的影响,结果表明,硅层的沉积速率随着温度升高而加快,并逐渐趋向1个稳定值.晶粒尺寸也随着温度升高而增大,在温度达到1000℃后保持不变.在此硅薄膜上,采用磷扩散掺杂,制备出太阳能电池器件,并且分析了掺杂量对电池效果的影响.
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《稀有金属材料与工程》（CN：61-1154/TG）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《稀有金属材料与工程》反映稀有金属材料领域的科技成果，包括钛、难熔金属、贵金属、稀散金属和稀土金属等材料以及超导材料的机械、物理、化学性能及其加工工艺，稀有金属材料在航空、航天、舰船、军工、化工等部门的应用等。
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