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镀铂栅极抑制电子发射性能研究

作者:蒋军; 江炳尧; 任琮欣; 张福民; 冯涛; 王...电子发射离子束辅助沉积钼栅极铂膜

摘要:利用离子束辅助沉积(IBAD)方法在Mo栅极表面上沉积Pt膜,采用试验二极管方法测量和比较阴极活性物质Ba,BaO蒸发到镀铂栅极和纯钼栅极表面上后的电子发射性能.采用XRD,EDX,XPS等测试手段对其栅极表面进行对比分析和表征.实验结果表明:镀铂栅极具有明显的抑制电子发射性能,并初步探讨了离子束辅助沉积Pt膜抑制栅电子发射的机理.

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稀有金属材料与工程

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