作者：菅瑞娟硅磨片螯合剂碱腐蚀酸腐蚀
摘要：在硅磨片生产中,几乎每道工序都有硅片清洗问题,其中硅磨片的表面金属的含量对后续器件性能有严重影响。本文通过碱腐蚀和酸腐蚀清洗硅磨片,并对比不同的清洗方法降低硅磨片表面的金属含量。
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