作者：杨旭; 黄雪峰交流电源igzo薄膜tft电阻率转移曲线
摘要：采用交流电源（AC）溅射方式和不同的氧分压在康宁玻璃基板上制备IGZO薄膜，使用AFM、CHT3530电阻/电流测试仪、Agilent4155C等仪器考察不同氧分压对表面形貌、电阻率及转移曲线的影响。
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