作者:段湘宁 周兵 沈欣 于国丰选择性电极晶硅太阳能电池金属栅线印刷位置精度
摘要:提出一种金属栅线印刷位置的检测方法,适用于直接检测金属栅线印刷位置与选择性重扩散栅线印刷区的重合精度,可以实时在线检测栅线印刷位置精度并反馈偏差值,实现对位印刷的闭环控制。该检测方法同时也为采用图形识别技术和图形对位技术的选择性电极型晶硅太阳能电池丝网印刷设备提供了可直观衡量设备印刷精度的验证方法此外,利用该检测方法可以实现对网板使用寿命的监测,提高网板和丝网印刷设备的使用率,降低生产成本,简化工艺控制。
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