作者：孙光峤; 于永洲设备监控文件解析半导体设备espc
摘要：针对半导体行业不支持SECS/GEM标准通讯协议的生产设备,提出一种基于文件解析的数据获取方案,解决设备状态监控数据源问题。此方法已经成功应用于半导体行业多种设备类型,满足了设备状态监控的基本需求。该方法同样适用于其他与半导体行业类似的生产制造业。
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《信息技术与信息化》（CN：37-1423/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《信息技术与信息化》从信息技术的研究、应用角度展现IT行业与科技发展与进步，是全国高校、科研院所、企业发表信息科学研究、技术应用成果的园地。
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