作者：李林瑛; 卢睿; 李绍华; 景雨; 刁建华在线调度量子进化算法集束型装备半导体制造滞留时间约束
摘要：针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备，研究了客户紧急订单、返工、新产品试制等临时晶圆到达时的在线调度问题，提出了不改变已有晶圆调度的前提下，利用资源空闲时间区间的两层在线调试方法。外层算法通过改进量子进化算法用以优化临时晶圆加工排序；内层算法在给定晶圆排序的基础上，采雨后向逐级递推的策略从资源的空闲时间区间获得可行解，利用逆序最大逐级回溯策略在可行解空间获得晶圆的加工开始时间。通过不同规模测试问题上的仿真实验和算法比较，验证了提出方法的有效性。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
