作者：潘春荣 黎良晶圆制造重入加工组合设备建模与仿真调度
摘要：晶圆加工中越来越广泛地采用可重构的自动化组合设备,其单晶圆加工技术提高了晶圆制造的生产效率和加工质量。介绍了组合设备的结构特征及其加工过程运行的约束条件,由于晶圆重入加工需求的增加,组合设备的调度变得更加复杂。回顾了组合设备可重入加工过程的建模、性能分析及其调度等研究工作,分析了重入加工的Petri网建模,调度和控制方法的优劣性,并通过例子阐述了仿真调度的可行性。提出了组合设备重入加工运行控制的研究方法及未来的研究方向。
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