作者:周海波; 邓华; 段吉安芯片键合运动平台非线性系统pid控制模糊pid控制
摘要:针对自行设计的步进电机结合传动装置构成的热超声倒装芯片运动平台,建立了含摩擦等扰动因素的系统非线性数学模型。针对这一非线性数学模型,研究了传统PID控制和模糊PID控制的控制性能。结果表明,传统PID控制难以达到理想的性能,而模糊PID控制能显著地改善定位精度和运行速度。
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《系统仿真学报》(CN:11-3092/V)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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