作者：肖华清; 熊祥正; 廖成平面绕型rfic螺旋电感品质因数性能散射参数
摘要：基于RF集成电路硅衬底螺旋电感（SIOS）的典型物理模型,用HFSS（High Frequency Structure Simulator）对中空平面四边形、八边形和圆形螺旋电感的电性能进行了模拟计算,结果与理论分析吻合.在内半径相同的情况下,圆形螺旋电感最大品质因数Q分别比四边形和八边形增加约0.90和0.80倍;在最大品质因数频率点,圆形螺旋电感端口反射系数分别比四边形和八边形减小约32.5%和26.6%,金属材料用量分别比四边形和八边形减少约30%和20%;当Q〉5时,圆形螺旋电感的工作带宽分别比四边形和八边形增大约60%和30%.
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