超精密测量关键技术的研究动态

作者：胡礼广; 蒋洪奎超精密测量光干涉电学测量扫描探针

摘要：超精密测量是超精密加工中的重要一环,目前其研究的内容主要涉及光干涉技术、电学测量技术以及扫描探针技术等几个方面,本文主要介绍了几种测量技术的工作原理、设备技术等方面的研究及进展情况.

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