作者：蒋洪奎; 范真; 姚汤伟; 钟俊坚; 朱春耕扫描探针刻蚀加工机理进展
摘要：文章综述了扫描探针刻蚀技术的最新研究进展，并介绍了扫描探针刻蚀加工机理。
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《新技术新工艺》（CN：11-1765/T）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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