作者：涂晶洁深图案加工蚀刻靠模
摘要：针对平面深图案的加工问题,提出了一种新的加工工艺--"蚀刻制模+靠模加工",并详细介绍其工艺过程和工艺参数.实践证明,这一过程及其参数正确并有实际应用价值.
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《现代制造工程》（CN：11-4659/TH）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度，颇受业界和广大读者的关注和好评。
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