作者：肖忠良; 李德志; 乐玉平; 周朝花微通道电化学沉积离子电场
摘要：文章针对20/14nm节点以下三维封装高密度（104/mm^2）、高深宽比（≥10）、小口径（≤5μm）垂直互连微通道的成形制造,解决复杂电场下离子的选择输运与界面快速沉积生长机制、微通道无缺陷快速填充原理、多场耦合作用下时变填充过程建模等基本科学问题,探索微通孔电化学沉积、多介质薄膜的离子增强原子沉积.
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《现代盐化工》（双月刊）创刊于1974年，由江苏省苏豪控股集团有限公司主管，江苏苏豪传媒有限公司、江苏省盐业集团有限责任公司主办，CN刊号为：32-1852/TS，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《现代盐化工》主要刊登制盐工业、化学工业、食品化学、生产工业如服装化工等相关的国内外先进科学技术，介绍盐及化工各专业的新工艺、新经验、新成果、新技术，传递科技信息，交流学术研究。
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