氧化物半导体液晶面板高速驱动东京大学布线工艺日本东北大学东京工业大学有源矩阵型
摘要：日本东北大学研究生院工学研究科智能元件材料学专业教授小池淳一的研究小组开发出了用于氧化物半导体TFT驱动的液晶面板、基于Cu—Mn合金的布线工艺，并在有源矩阵型显示器国际学会“AM—FPD 10”（2010年7月5～7日在东京工业大学举行）上发表了演讲。与目前液晶面板中使用的Al布线相比，Cu布线的电阻要低1／2左右，因而可缩小面板布线的RC延迟。该工艺主要面向大尺寸液晶面板4，000×2，000像素级以上的高精细化，以及超过240Hz的高速驱动等用途。
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