tft阵列制造技术薄膜晶体管silicon大规模生产制造工艺技术工艺技术管理清洗工艺
摘要:本书主要介绍非晶硅(amorphous silicon,a-Si)TFT阵列大规模生产的制造技术,共13章,内容从TFT元件的结构及特点,到TFT的检查与修复,包括TFT阵列制造清洗工艺、成膜工艺、光刻工艺、不尉辑析和检查修复。本书从11可阵列大规模制造的角度,第一次比较全面地介绍了TFT LCD牛产线的TFT阵列制造工艺技术、工艺参数、生产工艺技术管理、工艺材料规格、设备特性、
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