作者：贾育秦; 王培霞微观世界微型机械加工微型机电系统尺度效应加工精度
摘要：微型机械加工或称微型机电系统是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至接口、通讯电路和电源等于一体的微型器件或系统。其主要特点有：体积小(特征尺寸范围为：1μm～10mm)、重量轻、耗能低、性能稳定，惯性小、谐振频率高、响应时间短。1．微型机械的概念 机械制造的精度及所加工对象的精细程度都已越过微米、亚微米级的区域，正在向纳米、亚纳米级逼近。现代超精密加工(包括微细加工)发展的前锋已经与原子物理学接壤。加工精度的进化，制造工程技术人员需要进入物理的微观世界，直接与少量的、甚至单个的分子、原子打交道。
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