作者：刘海林; 霍艳丽; 胡传奇; 黄小婷; 王春朋...碳化硅凝胶注模素坯加工反应连接化学气相沉积集成电路光刻机
摘要：本文介绍了光刻机用碳化硅陶瓷结构件的特点及其对材料的要求,分析了碳化硅陶瓷在光刻机中作为结构件材料使用的优势,着重介绍了中国建筑材料科学研究总院在精密碳化硅结构件的制备领域所取得的技术成果,列举了精密碳化硅结构件在光刻机等集成电路制造关键装备中的应用。
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《现代技术陶瓷》（CN：37-1226/TQ）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《现代技术陶瓷》是实用性、可视性很强的刊物。内容涉及结构陶瓷、功能陶瓷、陶瓷纤维、复合材料以及各种工业陶瓷、建筑卫生陶瓷、特种耐火材料等方面的理论研究，应用技术开发和技术经济信息，介绍和评述国内外现代技术陶瓷的新工艺、新设备、新技术、新产品及新的发展动态。
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