作者：席智强; 陈勇水热法二氧化铈非晶体单晶硅片
摘要：采用简易的水热合成方法,以柠檬酸钠、醋酸锌和硝酸铈为原料制备了氧化铈纳米杆。XRD分析结果表明,制备出的晶体前驱体由非晶相组成。在573 K下煅烧10 h后,二氧化铈前驱体成立方萤石结构的晶体。改变醋酸锌的添加量会改变最终获得的二氧化铈杆状形貌尺寸和抛光性能。随着醋酸锌添加量的增加,微纳米杆二氧化铈晶面的优先生长方向演变成沿直径方向,纳米杆变得越来越粗,平均直径从230 nm增大到370 nm。使用未添加醋酸锌的杆状氧化铈进行抛光时,硅晶片表面存在略微的划伤和长短不一的划痕。随着醋酸锌浓度的增加,硅晶片表面划痕更加明显且有少量的腐蚀坑。
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