一种防止微波反应溅射台靶中毒的金属靶装置

金属靶反应溅射靶中毒微波发明装置技术领域圆筒防止淀积

摘要：本发明涉及一种防止微波反应溅射台靶中毒的金属靶装置,它属于金属淀积技术领域。本发明是由两只半圆弧状的金属靶相对安置构成,在金属靶的外围安置一个圆筒。本发明能够使金属靶与圆筒之间没有起辉、拉弧的迹象,溅

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