在硅基材上形成菱形图案薄膜

基材图案菱形除硅薄膜潜在用途加工工具微机械

摘要：日本熊本大学（Kumamoto University）工程系Junji Watanabe教授和他的同事在一种硅基材上沉积出一个菱形图案薄膜。这种均一的覆盖了菱形图案的基材有许多潜在用途，例如显微机械加工工具、探针和波导等。这一新技术与现有的方法相比，对基材损害更小，并且能够形成多种确定的图案。该技术也可以用在除硅外的其他基材上，如玻璃和陶瓷。

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