作者：娄光楠; 解一文; 东海杰红外焦平面探测器可靠性pfmea
摘要：将工艺故障模式影响分析(Process Failure Mode and Effects Analysis,PFMEA)引入红外焦平面探测器制造过程,介绍PFMEA 方法及应用流程,并以红外焦平面探测器涉及的关键工艺为例,说明PFMEA 在制造过程中的实施方法[1]。
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