富士通研究所通过检测结晶缺陷原子手法硅开发联合测定成品率
摘要：富士通研究所与日本新泻大学日前通过检测硅结晶中相当于单个原子的结晶缺陷，成功地联合测定出它的存在密度。这一技术将会在利用硅结晶进行晶圆的切割生产，以及利用这种晶圆提高LSI成品率方面发挥作用。
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