高折射率液体日本美国杜邦公司国际研讨会开发成功蚀刻技术spiearf吸光率浸液氟化氩
摘要：日本JSR面向浸液ArF(氟化氩)曝光用途开发成功折射率为1．64的高折射率液体后，在业界引起了轰动。最近美国杜邦公司也开发出了折射率为1．644、吸光率为0．083的高折射率液体。在“第30届SPIE微蚀刻技术国际研讨会”第3天晚间召开的有关浸液材料联合研讨会上进行了技术发表。
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