作者：韩光平; 刘凯; 王秀红微电子机械系统尺寸效应相对性绝对性微机械
摘要：针对微电子机械系统(MEMS)在特征尺寸处于微米量级时呈现的特性与宏观机械不同,阐述了尺寸效应对MEMS基础理论研究的重要意义.研究了尺寸的相对性、绝对性以及尺寸效应的基本概念,讨论了几何尺寸效应和力尺寸效应以及其他一些重要物理量的尺寸效应,提出了广义尺寸效应及狭义尺寸效应,为MEMS创新设计及基础理论的系统性研究提出一个新的切入点.
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