作者：韩路; 田爱玲; 聂凤明; 刘丙才; 刘卫国三维面形测量zernike多项式面形重建条纹反射
摘要：针对光学镜面测量中的面形重构问题,提出了一种基于Zernike正交多项式的面形重建方法。通过理论推导建立了面形重建数学模型;利用Matlab仿真模拟,分析了Zernike项数与采样点数的关系,研究了不同项数及采样点数对重建结果的影响;以双曲面为例进行了算法的有效性验证,给出了重建后面形的36项Zernike系数;最后对算法进行了噪声等级变化分析。研究结果表明:对于一个初始面形峰谷值(PV)为0.0075mm,均方根值(RMS)为0.0011mm的双曲面,选择Zernike前36项系数、采样点数为300时,拟合面形残差PV=2.6645e15mm,RMS=4.6616e16mm,拟合效果较好,且当噪声在15%以内,算法适用性较好。研究结果为后续复杂镜面条纹反射测量提供参考。
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