作者：张立新光学镀膜机功能组合非平衡磁控溅射镀膜技术光学薄膜光电功能脉冲电弧工业大学
摘要：西安工业大学将脉冲电弧离子束镀膜技术、非平衡磁控溅射镀膜技术和电子柬热蒸发镀膜技术根据薄膜种类进行组合使用，研制出了一种多功能组合光学镀膜机，成功实现了各种光学薄膜、光电功能多层薄膜以及光电微系统的制备。
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