作者:刘卫国 伍艺龙langmuir探针发射光谱法电子温度电子密度等离子体温度
摘要:为了获得等离子体抛光实验平台中氩等离子体的参数,利用Langmuir单探针与发射光谱法对其进行诊断分析,根据Langmuir探针原理计算了氩等离子体的电子温度与电子密度,采用双谱线相对强度法估算了氩等离子体温度及电子密度.实验结果表明:当射频电源功率在40~120 W时,电子温度随射频电源功率增加而增加,电子温度范围为2.41~5.03eV,等离子体温度随射频电源功率变化不大;两种方法测得的电子密度存在偏差,其随射频电源功率变化的趋势是一致的.
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