作者：田文超; 贾建援粘附力严重影响性问题粗糙表面理论基础数值微悬臂梁粗糙面微电子机械系统
摘要：针对粘附严重影响微电子机械系统性能和可靠性问题,提出了一种微悬臂梁粗糙表面'截球型'粘附模型;根据Hamaker微观连续介质理论及空隙修正理论,推导出粘附力表达式;讨论了粗糙面凸峰对粘附力的影响,得到影响粘附力的主要原子是凸峰顶部少数几层原子的结论;仿真出光洁度等级分别为10级,11级和12级的镍悬臂梁粗糙面粘附力数值结果,为微悬臂梁的结构设计提供了理论基础.
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